张宾：智能传感器研发领域的技术带头人

文/李婉欣

[导语]

在当前国外有关技术封锁及国内区域竞争加剧的背景下，张宾带领团队在微机电系统（MEMS）半导体智能传感器领域攻克关键核心技术，突破技术壁垒，补足短板，优化产品设计、完善检验检测，建立以质量为基础的品牌发展战略，加快市场化推广应用，用科技服务民生、推动经济社会高质量发展，为实现“2025年中国芯片自给率达到70%”的目标作贡献。

张宾，2003年9月创办广州奥松电子有限公司（现更名为广州奥松电子股份有限公司，以下简称“奥松电子”），担任董事长和首席技术专家，是广州市第十六届人民代表大会代表、广东省工业和信息化厅广东民营企业家智库成员、奥松电子科学技术协会**、华南理工大学设计学院工程硕士研究生校外指导教师。一直从事MEMS智能传感器研发，先后主持国家、地方和企业研发项目120余项，拥有自主知识产权超150件，参与起草国家标准3项，主导建设发展国内领先的MEMS半导体智能传感器全产业链（MEMS IDM）模式产业集群。先后被评为广州市黄埔区、广州开发区“创业领军人才”“创业杰出人才”“创业英才”“优秀人才”和广东“最美科技工作者”。

广州市黄埔区广州开发区杰出人才(创业)颁奖现场(右5为张宾)

我国传感器产业起步晚，发展缓慢，传感器技术与世界水平相比存在很大差距，各类传感器芯片几乎完全从国外进口，价格昂贵，国内缺乏对新原理、新器件和新材料传感器的研发和产业化能力。国内传感器研发的惨淡现状将张宾“逼”上创业之路。

2003年，张宾负责研发的湿度传感器项目成功实现量产，湿度传感器成为他同年成立的奥松电子的第一款产品。乘中国加入世界贸易组织的春风，订单纷至沓来，产品畅销海内外各地。

然而，2010年，张宾决定投入以往所有的收益，搭建MEMS半导体智能传感器芯片生产线。国内这一领域一片空白，单个车间内上百台设备的功能、兼容性都需要一一摸索。这一重资产、高投入、长时间、又成败难料的事情，遭到部分股东的反对，一些研发人员也想退出。

面临资金紧张、人员流失严重的困境，张宾毫不退缩，他坚定地说，“当与利益无关，却还一如既往、持之以恒地追求下去，这就叫热爱。”

这份热爱有迹可循。“我是一个技术爱好者，从小就对各种机械、电子产品有着浓厚的兴趣。报考专业时，选择了向往已久的电子技术专业。”工作后张宾在传感器技术领域不断地研发探索，多年的专业知识积累以及刻苦钻研，让他对传感器技术有着自己深入的思考。

2010年，张宾注意到国外传感器制造技术全面升级，在前往国外交流学习时，他在纳米加工平台看到多种不同高端设备如刻蚀机、光刻机等在传感器上的应用，深受震撼！奥松电子当时采用的还是传统的陶瓷电路做传感器基板，产品在体积、性能、价格等方面都处于劣势。张宾意识到，在半导体行业，传统的机械加工技术已经走到了尽头，利用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器才是将来的发展趋势。

从此，张宾踏上了搭建MEMS半导体智能传感器芯片生产线的漫漫征程。耗费6年时间，投入大量的资金，他始终抱着“咬定青山不放松”的信念，坚守初心，带领团队反复调试设备，对设备的功能、结构一一研究并进行改装。路虽远行则将至，事虽难做则必成。2016年，在经历无数次失败过后，奥松电子建成了属于自己的MEMS半导体芯片生产线。

奥松电子科学技术协会成立大会暨揭牌仪式

***总书记在党的二十大报告中提到，要坚持创新在我国现代化建设全局中的核心地位，健全新型举国体制，强化国家战略科技力量，提升国家创新体系整体效能，形成具有全球竞争力的开放创新生态。国家富强和民族复兴离不开科技创新，在创新强国的征程中，正是因为科研一线工作者们不断探索，精益求精，把科技的命脉牢牢掌握在手中，从而实现科技自立自强。

多年来，张宾作为奥松电子技术带头人，带领团队在科技创新强国路上越走越远，未曾有因取得成绩而停止进取的步伐。奥松电子不断取得新突破，其中不乏亮眼的成就：2016年，成功打造国内领先MEMS半导体传感器集成电路全产业链；
2020年，粤港澳大湾区首条6吋MEMS半导体智能传感器产线成功投产；
2022年，又启动了8吋特色芯片生产线的建设，该项目建成后，将使粤港澳大湾区成为国内规模化的MEMS芯片及智能传感器产业集群。

2019年，张宾带领研发团队自主创新研发的MEMS半导体绝对湿度传感器打破了日本对全球市场的垄断。该产品以最新的MEMS传感器制造工艺突破传统玻璃封装，一方面从响应速度、集成度等方面优化了微波炉、烤箱等家电新产品，实现数字接口输出，实现MEMS绝对湿度传感器产业化；
另一方面打破了技术垄断，实现绝对湿度传感器国产化，为国内家电行业贡献优质蒸汽湿度解决方案。

2021年，张宾主持“新一代冷镜式精密露点仪的研发和产业化”项目，部分性能参数赶超国外进口产品，解决了我国智能传感器关键技术“卡脖子”问题，实现了国产化替代，保障国家关键零部件供应链安全。

项目实施期间，张宾带领研发团队自主创新，首创借助半导体工艺采取硅片镀铂作为冷凝结露镜面，制冷温差提高，冷镜体积减小，反应速度得到极大提高。这项工艺现已取得中国计量科学研究院校准和检定证书，可广泛应用于计量检测、高校科研、气象环境、电子电力、医药等行业。该项目获得了“2021年度粤港澳大湾区高价值专利培育布局大赛50强”和“2021年度广东省测量控制与仪器仪表科学技术奖三等奖”。

张宾在做实验

2020年伊始，突如其来的新冠肺炎疫情使世界各国自危，美国、日本、德国等国家采取了严格的技术封锁，限制多项传感器相关技术出口。而我国国产呼吸机、麻醉机的关键传感器长期全部依赖进口，疫情来势汹汹，国内核心关键传感器却短缺，严重限制了呼吸机、麻醉机的产能。

面对严峻形势，张宾扛起科研工作者、企业家的社会责任和担当，集公司之力回应国内某知名呼吸机生产厂家的求助。张宾紧急召开产品技术研讨会，成立医用传感器攻关团队，分别设立芯片制造工艺开发小组、结构设计和模具开发小组以及系统控制集成小组，在复工复产极为艰难的情况下，张宾调配所有资源攻克技术难题，日以继夜全力奋战。张宾与员工在公司同吃住、共研发，亲自参与结构设计、芯片可靠性测试、传感器标定等工作。经过无数次实验与测试、无数次技术方案调整、无数次技术迭代，在极短时间内，他将科研骨干的才智凝聚于样品，并送检合格。

供应链、工装夹具、生产线排产工作......历经一个多月连续接力的量产攻关，奥松电子率先成为国内唯一一家同时具备生产新一代呼吸机专用流量、差压、氧气等抗疫相关传感器能力的企业。奥松电子将自身技术积累转化为研发产品，为呼吸机、麻醉机和口罩机等抗疫一线装备提供关键传感器，为抗击疫情贡献了重要力量。

这一科技成果解决了国内呼吸机、麻醉机中缺少关键零部件的难题，打破了一直以来呼吸机专用传感器被外国科技巨头垄断的局面，实现了国产化替代，为人民的生命安全提供了强大的保障。

张宾始终把家国情怀融入其在智能传感器产业的奋斗之中，在中国科技事业的征程中，带领团队打破一项项国外科技巨头垄断；
在突发疫情面前，带领团队以科研产品保障人民生命安全。对一个优秀科技工作者的诠释，不仅是对科研的热爱与创新，还要拥有勇于承担社会责任的品格。在当前国外有关技术封锁及国内区域竞争加剧的背景下，张宾带领团队全心全意投入，以攻克关键核心技术、突破技术壁垒的努力，用科技服务民生。

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